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      半導體晶片加工的游星輪，游星輪上均布有多個用于放置半導體晶片的孔位,其中一個所述孔位的一側(cè)設置有用于判斷半導體晶片起始放入位置的標識，以所述標識為起點按一定的規(guī)則順序依次將半導體晶片放入相應的所述孔位中。本實用新型準確的記錄了晶片在游星輪中的實際位置，避免了晶片在游星輪中的無序擺放。而半導體專游星輪在使用中遇到輪齒損耗快，易變性易被空氣腐蝕，導致使用壽命短的問題，而DLC類金剛石涂層工藝可以解決以上問題。

DLC涂層又稱類金剛石涂層，硬度高(>HV2200)，干摩擦系數(shù)低(0.05-0.1)。是一種無油自潤滑涂層。DLC涂層厚度可達到0.55um，并以最新工藝使產(chǎn)品具有良好的潤滑、散熱（干式）、絕緣防靜電、化學性能穩(wěn)定等性能，使工件壽命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降低生產(chǎn)成本。

做了DLC處理的不銹鋼游星輪對酸堿具有良好的抗腐蝕能力，適用于在磨拋過程含有酸堿性工藝的產(chǎn)品使用。耐磨性強以不銹鋼游星輪實際工作為例，連續(xù)工作 8500 轉(zhuǎn);表面無磨損,產(chǎn)品的表面維氏硬度達到 HV2800以上，由于游星輪跟其他工件摩擦，容易產(chǎn)生靜電，而做了DLC涂層有防靜電絕緣性能，從而保護半導體芯片。從而，提高了半導體晶片加工的游星輪的使用壽命。