航空航天領(lǐng)域:用于航空發(fā)動機渦輪葉片的表面防護,Ta_c涂層可增強葉片的抗氧化性和耐磨損性,大幅延長渦輪使用壽命;在超音速飛行器中作為熱屏障材料,降低飛行器表面熱量傳導(dǎo),增強抗熱沖擊能力 。
工具與模具制造:應(yīng)用于切削工具、鉆頭可有效降低切削力,Ta_c涂層可提高刀具耐用性和表面光潔度,提升加工效率;對于熱壓鑄模具或注塑模具,能增強模具表面耐磨損性能.
激光與光學(xué)防護:在激光切割、焊接設(shè)備中,作為高能防護涂層可減少激光能量對設(shè)備表面的直接燒蝕;涂覆Ta_c涂層在高能沖擊實驗中穩(wěn)定性高,廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星、無人機和高功率激光系統(tǒng)。
半導(dǎo)體領(lǐng)域:在碳化硅晶圓生長中,涂敷 Ta_c涂層的石墨(碳碳復(fù)合)材料可取代傳統(tǒng)的高純石墨、PBN 涂層、SIC 涂層部件等,用于 PVT 法生長 SIC、AlN 單晶爐中的坩堝、籽晶托、導(dǎo)流環(huán)等熱場材料,能提升晶體品質(zhì);也可用于 MOCVD GaN 外延層生長中的加熱器,以及外延涂層托盤(晶圓載具)等 。
醫(yī)療器械領(lǐng)域:Ta_c涂層可用于改善植入醫(yī)療器械的表面性能,如在鈦合金植入體表面沉積 TAC 涂層,能促進細胞的早期粘附和增殖,表現(xiàn)出良好的成骨活性;在醫(yī)療器械手術(shù)器械表面應(yīng)用時,能賦予器械極高的硬度和抗磨損能力,確保手術(shù)的精準度和安全性,同時其優(yōu)異的生物相容性和光滑表面,可減少術(shù)后感染的風(fēng)險 .
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