一般情況下,DLC 涂層的工作溫度范圍在 - 150°C 到 500°C 之間25。但在實(shí)際應(yīng)用中,不同工藝和成分的 DLC 涂層耐溫性有所差異:
常規(guī) DLC 涂層
在 300℃以上退火時(shí),DLC 涂層會(huì)出現(xiàn) sp3 鍵向 sp2 鍵轉(zhuǎn)變,導(dǎo)致涂層性能發(fā)生變化,其最高耐受溫度通常在 350℃左右。
1.硅摻雜 DLC(Si-DLC):
含 20at% Si 的 DLC 膜在 740℃退火時(shí)才出現(xiàn) sp3 鍵向 sp2 鍵轉(zhuǎn)變,顯著提高了熱穩(wěn)定性。
2.金屬摻雜 DLC(如 Ti、W、Cr 摻雜):
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