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DLC薄膜通常是非晶的，由sp2（石墨）和sp3（金剛石）相的混合物組成。膜性能的控制強(qiáng)烈地依賴于所選擇的沉積技術(shù)(PVD濺射或蒸發(fā)和Pa-CVD)的通量特性、膜內(nèi)的金屬和氫含量、sp2:sp3比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密度以及襯底溫度。DLC膜對(duì)鋼的摩擦系數(shù)一般在0.05-0.20之間，而膜硬度和sp3含量可以根據(jù)具體應(yīng)用而定制。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范圍內(nèi)具有35%SP3的硬度，無(wú)金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達(dá)75%SP3，而四面體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范圍內(nèi)具有80-85%SP3。

鋁及其合金材料具有重量輕、強(qiáng)度大、加工方便的特性，在當(dāng)今工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。但是由于鋁本身比較活潑的化學(xué)特性，其在應(yīng)用中常常面臨受環(huán)境影響快速腐蝕進(jìn)而失效的問(wèn)題。因此，對(duì)鋁及其合金進(jìn)行表面處理，從而隔絕基材與環(huán)境，對(duì)于提高其耐磨加硬自潤(rùn)滑能力非常重要。鋁及其合金在各領(lǐng)域應(yīng)用的深入，對(duì)于耐磨加硬性涂層本身也提出了各種更高的要求，例如更強(qiáng)的自潤(rùn)滑能力、耐磨性、表觀的均勻性及耐溫性等等。

經(jīng)DLC表面處理的鋁件零件,其耐磨性會(huì)明顯提高,DLC技術(shù)為鋁及其合金的耐磨加硬提供了一種選擇。因此DLC表面處理工藝在機(jī)械工業(yè)受到高度重視,以模具鋼為,經(jīng)過(guò)DLC表面處理的高速鋼在不同條件下摩擦磨損性能的差異,采用失重法評(píng)估耐磨性,試驗(yàn)結(jié)果表明:在高速和低速摩擦磨損試驗(yàn)條件下,無(wú)論在油潤(rùn)滑狀態(tài)還是在干摩擦狀態(tài),經(jīng)DLC表面處理后高速鋼的耐磨性能都有明顯的提高。