PVD薄膜沉積速度快、附著力強、衍射性能好、應用范圍廣。DLC主要采用PVD或PACVD工藝,在100℃~300℃的溫度下合成,具有良好的耐磨性、潤滑性,且具有電氣絕緣、化學穩(wěn)定性和光透性。
DLC涂層,即類金剛石涂層,是一種可實現(xiàn)無油自潤滑的涂層,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率,良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。是一種在微觀結構上以金剛石鍵結合的碳超過總碳量30%的非晶碳膜的統(tǒng)稱。
DLC涂層特點:
1、具有低的摩擦系數(shù)<0.06,適合用于高潤滑、減摩要求領域;
2、具有極高的表面電阻,適合用于高阻值和高耐蝕領域;
3、硬度2000-5000HV可調(diào),適合耐磨領域;
4、具有優(yōu)越的生物相容性,環(huán)保無毒,可應用于醫(yī)療食品領域;
5、表面光潔,粗糙度、對有色金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結和防咬合性能;6、可在各種鋼鐵、鈦合金、鋁合金、硬質(zhì)合金等材料上沉積獲得HF1-HF3級結合力。
DLC涂層還具有良好的自潤滑性能,使其在摩擦應用中摩擦因數(shù)較小。
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